产品概述：
锦正茂高低温真空磁场探针台是具备提供高低温、真空以及磁场环境的高精度实验台，它的诸多设计都是专用的。因此，高低温磁场探针台的配置主要是根据用户的需求进行选配及设计。例如，要求的磁场值，均匀区大小、均匀度大小、样品台的尺寸等，均于磁力线在一定区域内产生的磁通密度相关联；位移台还可与磁流体密封搭配，实现水平方向二维移动和样品台360度转动；除此之外，该探针台和我司自主研发的高精度双极性恒流电源搭配使用户，可以磁场的高稳定性。因此，该类型的探针台主要依据客户的使用情况进行设计优化。
锦正茂高低温真空磁场探针台探针台配备4个（可选6个或8个）拥有高精度位移的探针臂，同时配有高精度电子显微镜，便于微小样品的观察操作。探针可通过直流或者低频交流信号，用来测试芯片、晶圆片、封装器件等，广泛应用于半导体工业、MEMS 、超导、电子学、铁电子学、物理学、材料学和生物医学等领域。
测试范围：
磁特性测试、微波特性测试、直流、RF特性测试，微电子机械系统，超导电性测试，纳米电路的光电属性，量子点和线，高低温真空环境下的芯片测试，材料测试，霍尔测试，电磁输运特性等。
可选附件：
þ 各类DC探针、高频探针、主动式探针、电缆线
þ CCD或C-MOS视频成像装置
þ Chuck运动装置
þ 电磁铁系统/超导磁铁系统
þ 1Mpa正压系统升级
þ 超高温升级选件
þ 超高真空升级选件
þ 各类探针夹具
þ 屏蔽箱
þ 防振桌
þ 转接头
þ 静音真空泵
技术指标：
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高低温真空磁场探针台
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型号
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T8-EM4
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T8-EM5
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T8-EM7
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真空度
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高达10-8Pa
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腔体材质
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无磁不锈钢或者铝合金
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磁场范围
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2000Gs @50mm
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5000Gs@50mm
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1T@50mm
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磁场方向
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水平（可按用户要求设计成竖直方向的）
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配套电源
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双极性电源±50A
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双极性电源±70A
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双极性电源±90A
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电源稳定性
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50ppm（可选10ppm）
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制冷方式
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液氦/液氮制冷/闭循环制冷机
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温度范围
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5K-325K可选500K
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控温分辨率
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0.001K控温仪相关
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温度稳定性
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优于0.1K依赖于控温仪
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温度传感器
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硅二极管/PT100/CernoxTM
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传感器数量
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样品台、防辐射屏、探针臂各一个
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样品台尺寸（max）
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Φ50mm，平整度≤7μm
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样品台固定方式
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真空硅脂/弹簧压片
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样品台材质
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镀金无氧铜
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显微镜行程
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X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z轴行程≥50.8mm
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放大倍数
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16~100X/20~4000X
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真空腔观察窗尺寸
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1inch
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1.5inch
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2inch
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窗口材料
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熔融石英（可选K9、氟化钙等）
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探针臂数量
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2、4、6、8可选
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探针臂行程
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(X-Y-Z)25mm-25mm-12mm可更换
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位移精度
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10μm /2μm/1μm/0.7μm可选
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接口形式
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普通真空接头/三同轴接头/BNC/SMA等
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探针直径
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0.51mm
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针尖直径
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10μm/5μm/1μm可选
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探针材料
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钨/GGB
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供电电压
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AC220V 50Hz/60Hz
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AC380V 50Hz/60Hz
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