设备特点： 本设备采用分体模块化设计，立式底出料结构，炉体，真空系统，电控系统分别模块化式设计，现场三大模块按照平面布置图拼接组合起来，不用每样都分别拆分组装，安装方便快捷，布局整洁大方。 要技术参数 1.加热温度：1600℃ 2.功率：60Kw±10%单相整流 2.冷态真空度： ≤5×10E-3Pa 3.压升率： ≤2Pa/h 4.炉体尺寸： Ф750×1065mm（直径×高） 5.测温系统： 热电偶 6.控温精度： ±0.1℃，采用欧陆温控仪表 7.加热区：一区 8.坩埚升降参数： 位移行程 400mm慢速升降0.1-10mm/h（伺服控制）精度±0.01mm ? 快速升降50-200mm/min（伺服控制） 9.底出料参数： 位移行程 850mm ? 升降速度100-1000mm/min 10·炉内充气压力：≤0.05MPa 11·充放气系统： 两路（一路采用电磁阀充放气，一路预留充放气接口）
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