主机主要技术参数：主极电压 2000V；主极电流200A；控制极电压20V；控制极电流10A；电压分辨率 1mV；电流分辨率1pA；测试速度5ms/参数。能够真实准确测试19个类型的半导体器件以及相关器件组成的组合器件、器件阵列。与小电流测试选件构成的测试系统，可完成1μA以下漏电流的精密测试，