HVA 矩形阀 88200 系列
上海伯东美国 HVA 矩形阀门 88200系列矩形板阀是采用了直连驱动技术的接口阀,可靠使用寿命超过1百万次。HVA 闸板阀专用于真空相关系统,起隔绝真空压力的作用。HVA真空闸板阀外形尺寸小,设计紧凑,可靠应用于生产线与过渡腔室(load-lock chamber),过渡腔室(load-lock chamber)与传输系统(handling system),传输系统(handling system)与工艺腔室(process chamber)等等,需要分隔真空压力的地方。
HVA 88200 系列矩形真空板阀产品特点
1. 超百万次可靠运行寿命
2. 不产生粉末,颗粒,防尘设计
3. 阀动作平稳,振动和冲击小
4. 标准接口,或按客户要求定制
5. 阀体材料经过1E-6Torr,1100℃真空铜焊处理
6. 适用于1E-9Torr,200℃条件下
HVA 88200 系列矩形真空板阀技术参数
连接形式:
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标准或定制法兰
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主体材料:
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铝
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公称通径:
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DN32*222 mm-DN50*336
DN32*222 mm-DN100*1250
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漏率:
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2x10E-9 AtmCC/Sec
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压力范围:
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1x10E-9 Torr
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烘烤温度:
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《150℃
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适用介质:
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水、蒸汽、空气
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密封形式:
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软密封型
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驱动方式:
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气动
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使用寿命:
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启闭次数
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28200&88200系列矩形真空板阀订货号及2D & 3D 图
DN
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Model
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mm
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inch
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Number
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J (Bolted Body)
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K (Clamped Body)
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32 x 220
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1.26 x 8.74
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28212-0109RX_
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2D
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3D
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Quote
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2D
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3D
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Quote
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32 x 332
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1.26 x 13.07
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28212-0113RX_
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2D
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3D
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Quote
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2D
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3D
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Quote
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46 x 236
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1.81 x 9.29
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28212-0209RX_
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2D
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3D
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Quote
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2D
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3D
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Quote
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50 x 336
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1.97 x 13.23
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28212-0213RX_
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2D
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3D
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Quote
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2D
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3D
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Quote
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HVA 28200&88200 系列矩形真空板阀部件图
请联络上海伯东邓女士,分机134