? LEGEX系列为超高精度CNC三坐标测量机，具有世界上最高精度水平，对所有可能产生误差的因素进行严格分析并消除或最大程度地降低其影响。
? 固定桥结构和精密空气轴承在高刚性导轨上运行确保了良好的运动稳定性和超高几何精度。采用FEM结构分析模拟的彻底测试保证了几何运动精度，使负荷及其它变量波动造成的误差降至最小。另外，其他多种技术如抗振测量等用于驱动单元结构中，实现了超高精度。
? 配备有三丰超高精度标尺、热膨胀系数几乎为零的超高精度微晶玻璃尺以及高分辨力、高性能的反射型线性编码器。为其完美性能提供了卓越的位置检测功能。
? LEGEX高精度系列三坐标测量机配有温度补偿功能，因此设置环境不需要恒温控制室，就可以在18-22oC的温度范围内保证主机精度。
? 提供丰富的选件，包括触发式和非触发式测头，数据处理部等支持超高精度测量，如要求高尺寸精度的齿轮、轴承、透镜、硬模或滚动转子。
规格
项目 型号 LEGEX 574 LEGEX 774 LEGEX 776 LEGEX 9106 LEGEX 12128
测量范围 X轴 500mm 700mm 700mm 900mm 1200mm
Y轴 700mm 700mm 700mm 1000mm 1200mm
Z轴 450mm 450mm 600mm 600mm 800mm
测量方法 超高精度线性编码器
最大测量速度
200mm/s
最大加速度 1000mm/s2
分辨力 0.00001mm
精度
(JIS B7440-2)*1
(2003)
MPEE
【L:测量长度
(mm)】
(0.35+L/1000)μm
(0.6+1.5L/1000)
μm
MPEP 0.45μm 0.6μm
MPETHP 1.4μm 1.8μm
导向系统 各轴均采用气浮轴承
工作台 材料 铸铁*2
尺寸 550×750mm 750×750mm 750×750mm 950×1050mm 1250×1250mm
紧固用螺钉孔 M8x1.25mm (工件固定用)
最大测量高度 706mm 696mm 867mm 861mm 1056mm
最大负载 200kg 500kg 500kg 800kg 1000kg
重量 3900kg 5000kg 5100kg 6500kg 10500kg
空气供给 气压 0.4MPa*3 0.5MPa*4 0.4MPa*3
消耗量 120L/min*5 (正常情况下)
*1 使用测头: MPP310Q。
可确保精度的温度范围: 18 - 22°C, 温度变化: 0.5K/h, 温度梯度: 1K/m。
*2 也可选择陶瓷涂层。
*3 需要0.5MPa-0.9MPa气压。
*4 需要0.55MPa-0.9MPa气压。
*5 需要160L/min以上气压。
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