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上海伯东氦质谱检漏仪光刻机检漏

  

  • 发布日期:
  • 2023/1/18 13:37:01
  • 内 容:
  • 因产品配置不同,价格货期需要电议,图片仅供参考,一切以实际成交合同为准。
    氦质谱检漏仪光刻机检漏
    上海伯东客户日本某生产半导体用光刻机公司, 光刻机真空度需要达到 1x10-11 pa 的超高真空, 因为设备整体较大, 需要对构成光刻机的真空相关部件进行检漏且要求清洁无油, 满足无尘室使用要求, 为了方便进行快速检漏, 采购伯东 Pfeiffer 便携式氦质谱检漏仪 ASM 310.

    光刻机检漏方法: 采用真空模式检漏, 漏率值设定为 1x10-11pa m3/s.
    1. 通过波纹管与光刻机真空系统连接
    2. 使用喷枪, 喷扫管路, 腔体焊缝, 接头等部位, 如果存在超过设定漏率值的狭缝, 检漏仪会时时发出声光报警, 同时在屏幕上显示漏率值.

    便携式氦质谱检漏仪 ASM 310 主要技术参数:

    对氦气的最小检测漏率:真空模式 5E-13 Pa m3/s ,吸枪模式 1E-8 Pa m3/s

    检测模式:真空模式和吸枪模式

    氦质谱检漏仪无油前级泵抽速:1.7 m3/h

    检测气体:4He , 3He, H2

    响应时间:<1s

    对氦气的抽气速度:1.1 l/s

    氦质谱检漏仪进气法兰:DN 25 ISO-KF

    进气口最大压力:15 hPa

    通讯接口:RS-232

    工作温度:10-40 °C

    噪音水平:< 45 dB (A)

    尺寸:350 X 245 X 141 mm

    重量:21 kg (46 lb)

    鉴于客户信息保密, 若您需要进一步的了解光刻机检漏, 请联络上海伯东邓女士,分机134
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  • 021-50463511
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  • http://www.sn180.com/buyer/buyview/3809319.html


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